plusminuscartzoomrubs-vks-facebooks-twitters-ytarr-dchecktrashcrossinfo

Чистые помещения в электронной промышленности

Чистое помещение — помещение, в воздухе которого контролируется размер и число пылевых частичек, микроорганизмов, частиц аэрозоля на м³. В некоторых случаях в помещениях наблюдают и за другими показателями, например, за влажностью и температурой.

Применяются чистые комнаты в фармацевтической, медицинской отраслях, при производстве электронных компонентов и для научных исследований.

Базовая характеристика таких помещений — число пылевых и других частиц, превышающих в размерах определенную величину (0,1; 0,3; 0,5 микрона и так далее), которые находятся в кубометре воздуха. Величина пылевых частиц определяется в зависимости от назначения комнаты: в электронной промышленности при уменьшении микросхемы уменьшается и допустимая величина частичек. Правила проектирования и постройки, применения материалов и оснащения, методы испытаний и аттестации чистых помещений, а также деление таких систем по классам чистоты определяются серией стандартов ISO 14644, признанные в мировой практике.

 

В чистых комнатах для электронной промышленности, в отличие от помещений медицинского и фармацевтического назначения, особенно значим контроль за микропылинками в воздухе, а не за микроорганизмами, с которыми можно бороться при помощи бактерицидных ламп, дезинфицирующих растворов и др. Чистота в комнатах для изготовления электронных компонентов достигается, как правило, благодаря верной компоновке инженерных систем и корректной работы воздушной подготовки. Эти помещения проектируются и применяются так, чтобы привести к минимальным значениям поступление и накапливание частичек внутри помещения.

Для этого обычно используется несколько фильтров очистки (от более грубой до самой тонкой); фальшпол (чуть приподнятое покрытие с перфорацией); система, создающая избыточное давление в помещении для того, чтобы частицы прибивались к полу; инженерная инфраструктура, обслуживающая комнату (электрохозяйство, обеспечивающее комнату электропитанием; обеспечение водой; воздухоподготовка; шлюзы для перемещения из комнат с меньшим классом чистоты в более чистые комнаты и т.д.), ESD изделия и покрытия.

 

Сотрудник, входящий в помещение, также должен пройти специальную подготовку. Сначала человек производит так называемое «первое переодевание»: переобувается из грязной обуви в чистую, облачается в халат и головной убор. Затем приходит очередь «второго переодевания» в специальный плотный костюм с антистатическими нитями, а также в маску и перчатки. Проход в чистую комнату из зоны переодевания может быть оборудован воздушным душем – мощными потоками очищенного воздуха. Правила пользования чистыми помещениями запрещают перед их посещением пользоваться косметикой и средствами ароматизации.

В микроэлектронике регламентированы и движения сотрудников, находящихся в чистой комнате: перемещения требуется снизить до необходимого минимума, а сами движения не должны быть порывистыми, чтобы не создавать дополнительные потоки воздуха.

 

Из-за воздушного вихря во время перемещений сотрудников, на стенах, на полу, потолке и на обо­рудовании частички, летающие в воздухе, под воздействием электростати­ческих сил садятся на поверхности, а не вытягиваются из комнаты с воздушным потоком. В связи с этим повышается риск порчи элект­рокомпонентов из-за статического электричества.

 

В чистых помещениях для борьбы со статическим электричеством применяют 3 дополняющих друг друга средства:

  заземление мебели и работников (использования ESD браслетов, стульев, одежды и обуви, инструментов и т.д.);

  эксплуатация ESD тары и упаковки. Антистатическая тара применяется как при работе с микросхемами (ESD лотки, треи, подставки), так и во время их транспортировки (антистатический ящик, кейс, паллета, пакет)

  ионизация воздуха, нейтрализующая электростатический разряд на предметах. Когда электрозаряд скапливается на предметах, имеющихся в рабочей зоне, он может быть нейтрализован привлечением из воздуха зарядов обратной полярности

 

 

Создание высококачественных изделий в электронной промышленности напрямую связано с оснащением специальных производственных зон. Чистые помещения и их инженерное обеспечение помогают избежать финансовых и репутационных потерь в компании.

17 июля 2018
Далее